電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)
時間：2017-12-05 17:24:52作者：LeeZhou來源：德高潔清潔設(shè)備分享到：QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信
能源和環(huán)境問題日益成為各方關(guān)注的焦點
，為了實現(xiàn)能源和環(huán)境的可持續(xù)發(fā)展，世界各國都將太陽能發(fā)電行業(yè)作為發(fā)展的重
。多晶硅還是信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)的原材料
，還原工藝是多晶硅生產(chǎn)的關(guān)鍵工藝和成品工藝
，其工藝條件和參數(shù)控制好壞直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。電子級多晶硅生產(chǎn)工藝要求很高
，要在“無油
、無水、無塵”的環(huán)境下運行
。
目前多晶硅生產(chǎn)多數(shù)采用改良西門子法
，用來生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)電子級多晶硅；還原爐和氫化爐是改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備
，其運行好壞直接影響多晶硅質(zhì)量及生產(chǎn)成本。鐘罩清洗不干凈
、光潔度不夠
，常常導(dǎo)致硅芯擊不穿或產(chǎn)品質(zhì)量污染，所以鐘罩清洗設(shè)備對多晶硅生產(chǎn)非常重要
。
經(jīng)過多年來客戶的實際應(yīng)用和需求
，通過總結(jié)借鑒國內(nèi)外經(jīng)驗，德高潔對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認(rèn)識
，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢
，研發(fā)電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)。
德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)包括低壓熱水清洗動力裝置
、三維洗罐器
、旋轉(zhuǎn)和升降執(zhí)行機構(gòu)、清洗工作臺
、萬級凈化干燥系統(tǒng)
、循環(huán)過濾系統(tǒng)
、控制裝置、微負(fù)壓系統(tǒng)
、清洗工作臺
、電氣控制系統(tǒng)等，系統(tǒng)實現(xiàn)了鐘罩的全自動清洗和烘干操作
。
電子級多晶硅還原爐鐘罩自動清洗系統(tǒng)特點：1
、多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)以3D形式的網(wǎng)狀噴射來完成爐筒內(nèi)部表面的水力掃射，加之萬級凈化干燥系統(tǒng)
，完全滿足電子級多晶硅生產(chǎn)的需求
。
2、自動化程度高
，清洗時只需一鍵操作即可
，操作簡單方便。自動控制系統(tǒng)能實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干
，清洗烘干時間
、溫度、清洗
、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設(shè)定
，同時具有半自動或手動功能。
3
、在整個還原爐的清洗過程中
，清洗、干燥中筒內(nèi)形成微負(fù)壓狀態(tài)
，防止清洗外溢
，同時將底座與筒體下法蘭處的污染物等一并吹掃，通過排污管排出
，從而保證了整個過程不會對潔凈區(qū)造成污染
。全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，使污染物(廢氣
、廢水等)在受控的條件下
，按設(shè)計出口排放，基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染
。
4
、德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能可靠，核心部件
、元件和附件原裝進(jìn)口
。電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)的適應(yīng)范圍廣，一套系統(tǒng)可以實現(xiàn)多種型號鐘罩的清洗烘干
。
多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣
，有高壓清洗
、化學(xué)溶劑低壓清洗、機械拋光等
，德高潔多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)覆蓋了國內(nèi)90%的多晶硅企業(yè)
，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)。這套電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)經(jīng)過反復(fù)摸索求證
，可根據(jù)不同的鐘罩
、不同車間廠房不同能源條件，提供個性化設(shè)計
，節(jié)省了人力物力
，大大降低勞動強度，這也對提高多晶硅品質(zhì)產(chǎn)生重要意義
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