，多晶硅可以用于制備單晶硅
，其深加工產(chǎn)品廣泛用于半導(dǎo)體工業(yè)中
，作為人工智能
、自動(dòng)控制
、信息處理
、光硅轉(zhuǎn)換等器件的基礎(chǔ)材料
。同時(shí)，由于能源危機(jī)和環(huán)境保護(hù)的要求
，全球正積極開發(fā)利用可再生能源
，大陽能光伏發(fā)電作為可再生資源之一備受關(guān)注，突顯出著多晶硅在新能源中的重要性
；由于多晶硅產(chǎn)品需求的多樣化
，對多晶硅純度的要求也大不相同，目前多晶硅可以分為太陽能級(jí)多晶硅（光伏發(fā)電）
、電子級(jí)多晶硅（半導(dǎo)體集成電路）
、區(qū)熔級(jí)多晶硅（電子級(jí)多晶硅的更高端產(chǎn)品）
。
改良西門子法被公認(rèn)為是多晶硅提純可靠成熟的工藝技術(shù)，同時(shí)也已被國內(nèi)外絕大多數(shù)廠商采用
，多晶硅還原爐作為改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備
，決定了系統(tǒng)產(chǎn)能、能耗
、環(huán)保指標(biāo)以及可靠性
、安全性的關(guān)鍵因素。還原爐在生產(chǎn)過程中
，由于還原爐內(nèi)反應(yīng)溫度較高
，每一輪沉積反應(yīng)后，在還原爐鐘罩內(nèi)壁粘附著一些雜質(zhì)
，根據(jù)多晶硅生產(chǎn)原理及實(shí)際生產(chǎn)情況分析
，鐘罩表面主要污染物為無定形硅粉，其次為多晶硅顆粒物
、氯硅烷水解物及部分粉塵雜質(zhì)
，這些雜質(zhì)不僅影響多晶硅的品質(zhì)，還使鐘罩內(nèi)表面的熱量反射減少
，增加電耗
，因此，為保障還原爐鐘罩表面的潔凈度
，必須對還原爐鐘罩進(jìn)行清洗及烘干作業(yè)
。
以往，行業(yè)內(nèi)普遍采用的方法是通過人工加化學(xué)藥劑的方式對還原爐鐘罩進(jìn)行清洗
，清洗過程中
，人工穿戴好防護(hù)服，手持高壓水槍噴射到內(nèi)壁上對附著物依次進(jìn)行純水清洗和清洗液清洗
，對部分清洗不干凈的部位用酒精擦拭
，然后用高溫壓縮空氣進(jìn)行烘干。這種清洗方式
，存在清洗效果不徹底
、效率低下、浪費(fèi)人力的缺陷
。并且
，還原鐘罩內(nèi)會(huì)有各種有毒有害氣體溢出或殘留，給清理人員帶來健康和安全風(fēng)險(xiǎn)
，清洗時(shí)
，稍有不慎化學(xué)清洗機(jī)容易濺到身上造成傷害。
為解決傳統(tǒng)人工清洗方式帶來的諸多危害
，德高潔自主研發(fā)并歷經(jīng)四代改進(jìn)升級(jí)還原爐鐘罩高壓水自動(dòng)化清洗系統(tǒng)
，系統(tǒng)由低壓熱水清洗動(dòng)力裝置
、三維洗罐器、旋轉(zhuǎn)和升降執(zhí)行機(jī)構(gòu)
、清洗工作臺(tái)
、萬級(jí)凈化干燥系統(tǒng)、循環(huán)過濾系統(tǒng)
、控制裝置
、微負(fù)壓系統(tǒng)、清洗工作臺(tái)
、電氣控制系統(tǒng)等組成
，能夠代替人工實(shí)現(xiàn)還原爐鐘罩的全自動(dòng)清洗和烘干操作。解決還原爐鐘罩清理過程中存在的效率低
、清理效果差
、安全隱患等問題，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化高效清理的效果
。
德高潔
多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是以高壓清洗機(jī)為主機(jī)
，以高壓水射流為動(dòng)力的自驅(qū)動(dòng)三維旋轉(zhuǎn)噴頭形成360°的網(wǎng)狀高壓水柱噴射表面，從而完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射
，并采用專用清洗劑等為主要清洗液
，先用脫鹽水預(yù)清洗再依次用溶液、脫鹽水漂洗
，之后再采用高純水沖洗
，從而完成清洗過程，清洗工藝完成后
，采用經(jīng)過純凈空氣(萬級(jí))烘干加熱
，達(dá)到工藝要求的干燥度。
德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)自動(dòng)化程度高
，用PLC+觸摸屏柔性自動(dòng)控制系統(tǒng)，能實(shí)現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干
，清洗烘干時(shí)間
、溫度、清洗
、漂洗等工藝參數(shù)可以根據(jù)需要自行調(diào)整設(shè)定
，同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能，一次吊裝在一個(gè)工作臺(tái)上完成全部清洗
、烘干過程
，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程對樓下設(shè)備的控制和主要參數(shù)監(jiān)控。
全密閉式清洗烘干系統(tǒng)
，有效防止清洗時(shí)高壓水射流噴射出鐘罩外
，使污染物(廢氣
、廢水等)在受控的條件下，按設(shè)計(jì)出口排放
，有效避免人員安全隱患及環(huán)境污染事故
，系統(tǒng)核心部件均為原裝進(jìn)口，采用歐洲標(biāo)準(zhǔn)
，保證了多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能的可靠
，可以在一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多種型號(hào)鐘罩的清洗烘干。
為了滿足多晶硅日益激增的市場需求
，保障多晶硅生產(chǎn)質(zhì)量
，多晶硅企業(yè)除了在生產(chǎn)能力和技術(shù)上有所提升之外，對多晶硅生產(chǎn)設(shè)備的潔凈度也不可忽視
，如何實(shí)現(xiàn)多晶硅還原爐鐘罩的高質(zhì)量清洗
，德高潔多晶硅還原爐鐘罩自動(dòng)化系統(tǒng)一直“靠實(shí)力說話”，憑借專業(yè)團(tuán)隊(duì)
、可靠硬件設(shè)備
、合理工藝、自動(dòng)化技術(shù)等多方面結(jié)合
，為用戶提供一套安全
、環(huán)保、高效
、高質(zhì)量的多晶硅還原爐鐘罩自動(dòng)化清洗解決方案
。目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國內(nèi)90%的用戶
，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)
。
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