德高潔：大型多晶硅還原爐鐘罩內(nèi)部“去人化環(huán)保化”清洗設(shè)備
時間：2023-07-05 14:09:00作者：LeeZhou來源：德高潔清潔設(shè)備分享到：QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信
多晶硅是微電子行業(yè)
、半導(dǎo)體行業(yè)
、光伏行業(yè)的基礎(chǔ)材料，在多晶硅生產(chǎn)過程中
，還原爐鐘罩表面上會沉積一定厚度的多晶硅副產(chǎn)物
、硅粉等，在下一爐生產(chǎn)時會影響還原爐鐘罩的反射效率
、產(chǎn)品質(zhì)量
，所以多晶硅棒生長完成并從還原爐內(nèi)拆除完之后
，需要對還原爐鐘罩內(nèi)壁進(jìn)行清洗烘干，保證其內(nèi)部的干燥潔凈
。
在國內(nèi)多晶硅廠家生產(chǎn)初期
，還原爐鐘罩清洗的主要方式是人工清洗，將還原爐鐘罩放到固定位置后
，清洗人員配好清洗液
，穿戴好全套的防護(hù)用品后，用高壓水槍噴射到內(nèi)壁上對附著物依次進(jìn)行純水清洗和清洗液清洗
，對部分清洗不干凈的部位用酒精擦拭
，再用高溫壓縮空氣進(jìn)行烘干。
由于每一個生產(chǎn)周期結(jié)束后均需要對還原爐鐘罩進(jìn)行清洗
，為保證多晶硅產(chǎn)品的品質(zhì)
，對還原爐鐘罩內(nèi)表面的潔凈要求十分苛刻，而對于大型還原爐鐘罩來說
，采用人工清洗存在清洗不干凈
、清洗的一致性也難以保證、浪費(fèi)人力的缺陷
，且人工配堿和噴洗不安全
，稍有不慎堿液容易濺到身上造成傷害，如何減少人工參與
，實現(xiàn)更安全
、環(huán)保的清洗方式成為多晶硅還原爐鐘罩內(nèi)部清洗的難題。
德高潔多晶硅
還原爐鐘罩自動化清洗系統(tǒng)，由高壓熱水清洗系統(tǒng)
、熱風(fēng)凈化烘干系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成
，系統(tǒng)操作簡單
，自動化程度高
，整個清洗工藝包含：還原爐鐘罩到位→預(yù)清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高壓純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走
，全程僅需人工輔助作業(yè)，解決傳統(tǒng)人工清洗存在不安全
，不環(huán)保
，清洗效果差，自動化程度低
，效率不高的缺陷
。
系統(tǒng)采用密閉式高壓水射流清洗系統(tǒng)，清洗時三維清洗噴頭由高壓熱水動力裝置射出高壓水流作為驅(qū)動動力
，對鐘罩表面形成360度網(wǎng)狀噴射表面
，三維旋轉(zhuǎn)噴頭自由升降
，因此可以全面的對鐘罩進(jìn)行噴射清洗，清洗時用專用清洗劑等為主要清洗液
，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗
，最后用高純水沖洗完成清洗過程，能夠保證清洗的一致性和均勻性
。
全密閉式清洗烘干方式使清洗安全可靠
，不污染環(huán)境，保護(hù)人身健康不受危害
，清洗后用經(jīng)過三級凈化(10萬級)的純凈空氣
，梯級加熱，保證烘干完的鐘罩不再結(jié)露
，可直接進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)
，有效提高自動化程度和生產(chǎn)效率。
洗滌后的含酸或堿液廢水
、廢渣
，排放到需方指定處，由需方自行處理
，配排污水(池
、槽)溝；清洗和烘干產(chǎn)生的廢氣做室外排空排放
。系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng)
，實現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能，可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干
。
德高潔是一家專業(yè)清潔環(huán)保設(shè)備供應(yīng)商
，在環(huán)保除塵、
高壓清洗機(jī)、凈化成套裝備
、工業(yè)設(shè)備清潔領(lǐng)域已積累了近三十年的業(yè)內(nèi)寶貴經(jīng)驗，公司擁有20余人研發(fā)團(tuán)隊
，長期服務(wù)于國企
、軍工、外資
、上市公司等500強(qiáng)企業(yè)
，針對多晶硅還原爐鐘罩的清洗，德高潔可根據(jù)使用方不同還原爐鐘罩
、車間廠房的情況
，能源條件不同，提供個性化設(shè)計，目前
，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國內(nèi)90%的用戶
，為多晶硅行業(yè)提供了上百套還原爐清洗系統(tǒng)，并在北京
、上海
、深圳、成都
、西安
、武漢均設(shè)有分公司及辦事處，服務(wù)體系網(wǎng)絡(luò)健全
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