多晶硅生產(chǎn)剛需：德高潔自動化清洗系統(tǒng)保障電子級潔凈度
時間：2025-06-17 17:04:00作者：LeeZhou來源：德高潔清潔設備分享到：QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信
多晶硅還原爐鐘罩表面易沉積副產(chǎn)物
，影響生產(chǎn)質量
，需定期清洗
。人工清洗因殘留物具腐蝕性
、反應放熱易引發(fā)安全隱患
，且需嚴格操作。德高潔研發(fā)自動化高壓水清洗系統(tǒng)
，由多裝置組成
，通過水力驅動三維噴頭 360° 清洗，搭配堿液
、純水沖洗及熱風烘干
，全流程自動化。系統(tǒng)采用 PLC 控制
，可調節(jié)參數(shù)
，全封閉作業(yè)避免污染。
多晶硅是光伏行業(yè)和微電子行業(yè)的基礎材料
，生產(chǎn)多晶硅主要采用改良西門子法
，改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的反應器主要采用多晶硅還原爐。在多晶硅生產(chǎn)過程中
，還原爐鐘罩表面上會沉積一定厚度的多晶硅副產(chǎn)物
、硅粉等。但多晶硅生產(chǎn)對還原爐沉積環(huán)境的潔凈度要求特別關鍵
，任何顆粒性雜質
、物料等物質余留在爐內，都會對產(chǎn)品質量造成影響
。所以在還原爐運行一個周期結束后
，需要對還原爐鐘罩內部進行徹底清洗后，再進行下一個周期的化學氣相沉積
。
一、多晶硅還原爐鐘罩內部殘留清洗原理及挑戰(zhàn)殘留物的主要化學成分是Si，能和氫氧化鈉發(fā)生氧化還原反應
，其他物質有SiO2
、(HSiO)2O等，均含弱酸性易與氧化鈉溶液發(fā)生中和反應
。利用氫氧化鈉溶液
，將緊密附著在還原爐內表面的膜狀沉積物腐蝕以便清理，在此清洗原理下
，對多晶硅還原爐清洗時需要面臨以下問題：
1
、因還原爐內殘留物及清洗液均為具有腐蝕性的化學物質，同時在清洗中殘留氯硅烷會發(fā)生水解伴有氫氣產(chǎn)生
，且水解反應為強烈的放熱反應
，容易產(chǎn)生爆鳴燃燒。因此
，人工清洗過程中具有一定的安全隱患
，清洗過程中必須穿戴好勞保用品，并佩戴防護手套；
2
、人工用氧化鈉溶液擦洗還原爐鐘罩時
，必須操作要緩慢以免摩擦生熱引起著火；
3
、清洗中要保證將鐘罩烘烤干避免有殘留水分
，影響下一批次的生產(chǎn)周期及產(chǎn)品質量。
二、多晶硅還原爐鐘罩內部自動清洗方式
由于多晶硅還原爐鐘罩的清洗存在一定的安全隱患
，行業(yè)內需要提供一套安全高效的清洗方式，德高潔結合多晶硅生產(chǎn)工藝及設備需求
，獨立自主研發(fā)了一套自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)
，其由高壓熱水動力清洗裝置，熱風凈化烘干機組
、清洗烘干工作臺、PLC電氣控制系統(tǒng)等組成
，自動化完成還原爐鐘罩內部的清洗及烘干流程
，減少人工投入，提高清洗效率
、質量
、環(huán)保、安全等性能
。
自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)整個清洗流程包括：還原爐鐘罩到位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走
。其工作原理是以水力自驅動三維自動旋轉噴頭，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面
，完成鐘罩內部表面的水力掃射
，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗
，最后用高純水沖洗后烘干
，最終完成整個清洗過程。
還原爐鐘罩清洗過程中
，一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗
、烘干過程，清洗時鐘罩底部法蘭和清洗平臺組成一個全封閉空間
，避免高壓水射流噴射出鐘罩外
，對周圍環(huán)境及工作人員健康的負面影響。德高潔多晶硅還原爐鐘罩自動清洗系統(tǒng)
，采用PLC電氣控制系統(tǒng)
，可根據(jù)多晶硅實際生產(chǎn)實況調整清洗壓力、流量及清洗時間
，在保障清洗質量的同時
，節(jié)約水資源的浪費
，系統(tǒng)同時具有半自動或手動功能，提高工人的適應性
。
德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)操作簡單
，設備安全穩(wěn)定，其核心部件
、元件和附件原裝進口保證了電子級多晶硅鐘罩清洗系統(tǒng)性能的可靠
，可以在一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號鐘罩的清洗烘干。目前
，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業(yè)已擁有國內90%的用戶
，為多晶硅行業(yè)提供了幾十套還原爐清洗系統(tǒng)，經(jīng)驗豐富
，技術可靠
。
德高潔作為一家專業(yè)的環(huán)保清潔設備供應商，在環(huán)保除塵
、凈化
、工業(yè)設備清潔領域已積累了近三十年的業(yè)內寶貴經(jīng)驗，自2007年便致力于研發(fā)高效率
、高環(huán)保
、高質量的自動化系統(tǒng)，期間自主研發(fā)并投入使用了一系列高壓水自動化清洗系統(tǒng)
，可對液壓支架
、噸桶、罐車
、反應釜
、罐式集裝箱、儲罐
、發(fā)酵罐
、多晶硅還原爐鐘罩等設備進行自動化清洗，并結合企業(yè)實際生產(chǎn)工況
，提供可定制化自動清洗解決方案
，做到以客戶需求為基準，用現(xiàn)代技術
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