德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)及清洗注意事項
時間：2016-10-21 13:54:14作者：LeeZhou來源：德高潔清潔設(shè)備分享到：QQ空間新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)微信
目前
，隨著光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展
，對多晶硅的需求量也日趨增大。在多晶硅生產(chǎn)設(shè)備中
，還原爐是整個生產(chǎn)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件
，多晶硅生產(chǎn)企業(yè)要實現(xiàn)節(jié)能降耗就必須嚴格把控還原爐的運行
。
眾所周知，對還原爐內(nèi)壁進行清洗處理
，就是降低能耗的一種有效的方式
，通過提高還原爐內(nèi)壁光潔度及光亮度
，使還原爐在硅棒生長過程中
，爐壁在高溫狀態(tài)下，對熱輻射反射率的最大化
，從而起到降低能耗的作用
。
德高潔
多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是以高壓清洗機為主機，以高壓水射流為動力的自驅(qū)動三維旋轉(zhuǎn)噴頭形成360°的網(wǎng)狀高壓水柱噴射表面，從而完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射
，并采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗
，之后再采用高純水沖洗
，最終完成清洗過程。
一、工作流程還原爐鐘罩到位—預(yù)清洗—清洗劑(堿液)清洗—漂洗—高純水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走
。
二、系統(tǒng)特點1
、德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)采用進口高壓泵，耐酸堿
、耐高溫
。清洗作業(yè)時三維旋轉(zhuǎn)噴頭實現(xiàn)自驅(qū)動旋轉(zhuǎn)、自動升降
、全方位自動清洗
，保證多晶硅的純度
；
2、設(shè)置10萬級空氣凈化換熱裝置代替原氮氣電加熱干燥還原爐體工藝
；
3
、自行研發(fā)設(shè)計的自驅(qū)動旋轉(zhuǎn)升降噴射機構(gòu)，一套系統(tǒng)實現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干
；
4
、由于清洗過程中會有氫氣和酸性物質(zhì)產(chǎn)生，德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)采用全封閉式清洗裝置可完美解決二次污染
；
5、德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)充分利用資源
，設(shè)計了高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置
，并進行凈化使后序清洗水用于前序的漂洗工序；利用多晶硅生產(chǎn)廠家的蒸汽余熱將清洗介質(zhì)加熱
，從而改變原電加熱工藝
。
三、注意事項多晶硅還原爐內(nèi)的殘留物及清洗液具有腐蝕性
，同時清洗中殘留氯硅烷會發(fā)生水解伴有氫氣產(chǎn)生，容易產(chǎn)生爆鳴燃燒。因此
，現(xiàn)場操作中
，需要做好安全防護措施。
1
、清洗過程中必須穿戴好勞保用品
，戴防護手套；
2
、用氫氧化鈉溶液擦洗基盤時操作要緩慢，以免摩擦生熱引起著火
；
3
、基盤清洗過程中要避免溶液流進進料管和尾氣管內(nèi)造成二次污染，德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)采用全封閉式清洗裝置可完美解決二次污染的問題
；
4
、清洗中要保證將鐘罩烘烤干，避免有殘留水分
；
5、清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響
，這方面我公司積累了豐富的實踐經(jīng)驗解決閃爆等問題
。
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